→ wzmildf : 那你不會試看看？ 10/21 15:57
噓 Vinurpe : 當然是EUV 跟樓下拿阿斯麥採購連絡電話 10/21 15:58
推 nanpolend : 太難了超出自身專業太多得問內行的 10/21 16:08
噓 kyle5241 : gline 和 i line 先解釋一下是啥好嗎 10/21 16:09
推 flower42 : 自己去算解析度啊== 10/21 16:13
→ lstn : 主要看你的pattern和有什麼設備吧 10/21 16:14
推 sl613 : 看光阻吸收波段吧，不負責回答 10/21 16:14
→ sampo10102 : 看你的光阻材料啊 10/21 16:15
→ flower42 : 誰知道你線寬多少== 10/21 16:15
噓 Vinurpe : 436跟365你比較喜歡哪個數字? 10/21 16:17
噓 Vinurpe : 認真回, 理論上波長越小, 解析度越佳,但DOF會下降 10/21 16:19
→ Vinurpe : 你還是要評估啦, 我是不太相信paper都沒寫實驗條件 10/21 16:19
→ Vinurpe : 你也可以寄信去問通訊作者 10/21 16:19
→ sc1 : 用G-line去輪班就知道了 10/21 16:47
推 transletum64: 用immersion 閉著眼睛曝光就好 10/21 16:55
推 premise : 答案很明顯 是gline 10/21 17:12
推 venomsoul : Line改這麼多版本了喔，趕快來下載 10/21 17:17
→ cefywo : 9x9的光罩跟要用I還g有什麼關係啊？認真不懂？爽用K 10/21 17:39
→ cefywo : rF或ArFi也行吧看pattern跟光阻不是嗎？ 10/21 17:39
噓 XperiaZ : getline 10/21 17:39
推 depen : 看圖案線寬大小決定用那個 10/21 17:54
噓 Cinderlin : 作業自己寫啦 10/21 18:25
推 wisebani : 建議直上GTline,比較超值 10/21 19:05
推 Mbappe10 : 問就是gline 10/21 19:09
噓 ijk1 : 當然是high NA EUV 10/21 19:18
噓 hihowareyou : G point 10/21 20:30
→ bensonliu : G 10/21 21:43
推 jtsu5223 : 顯微鏡手刻即可 10/21 21:56
推 onomedu : 皆可使用 10/21 22:08
推 abcdyy : ST line 也不錯 考慮一下 10/21 23:43
推 huhuiying : gline呀 10/22 00:18
推 imhanhan : 太難了 我只知道highlight 10/22 07:19
推 fiber1124 : 哪麼大的線寬，搭配適合的光阻都曝的出來，要先看 10/22 11:42
→ fiber1124 : 後續的製程需要要什麼樣的光阻吧！ 10/22 11:42
推 ohlaohhh : Gline 就夠了，殺雞用牛刀 10/22 12:31
噓 Satansblessi: 手刻啊！ CD那麼大 10/22 20:39
噓 ji394vul3nn : .….... 10/23 16:10
→ z515026 : 黃光設備工程師歡迎你 10/25 12:04
推 ian41360 : 9mm我都用手刻給你參考 10/25 12:58