Re: [請益] 日本一直把持光阻劑市場？

[tobbaco (tobbaco)]

光阻Photoresist就是照光會反應的材料,沒什麼困難的概念

在半導體上從低階到高階都會有,現在日本市佔大的就高階的光阻

大概佔90%以上，都是信越 JSR TOK 富士軟片跟住友占走

最高階的EUV光阻,信越跟JSR跑在前面。

日本的有機合成經驗多，且材料純度高,做食品或味素的公司做電子

材料也可以賣很好。然後早起就進入光反應樹脂的市場，累積大量開發

與合成經驗當然越走越遠，專利也越寫越多

不過現在光阻的基礎骨幹結構與配方都寫在Paper上，也不是甚麼新東西

材料現在有用MI在模擬，配方與結構遲早被摸出來。

剩下只有繞過專利惹，如果不理專利的話應該難度不會太高。

但是當然會不會只有配方這麼簡單，每個layer的特性都要做調整

差幾奈米的pattern效能天差地遠。


除了配方以外，量產與純化標準都高到不行，雜質含量也是0後面好幾個0的程度

量產製造的與純化要達到這個要求,know how也是很多,連環境也要高等的無塵室才行。

這些也是提早進入市場所累積出來的經驗,現在EUV的技術與貨物出口都要經過日本政府

審查同意，連開發人員都要身家調查才給摸，拿來當貿易武器的東西真的不一樣。


最後，最重要的是，要有FAB給你測，晶片製造商很難讓一個沒有經驗與信賴性的

原料供應商測光阻，不知道品質與量產能力，還沒有實績；如現在EUV的測試因為材料

供應商沒有EUV的tool，只能給有tool的客戶或是實驗室測，整個拉長了開發時間；如果

有新來的供應商應該沒甚麼空間能夠生存。

所以自然就只剩下這些供應商存在了。

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 101.102.210.72 (日本)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1670385914.A.EE6.html
→ sc1         : 做晶圓代工有產業升級條例晶片法政策補貼 光阻液無
→ sc1         : 日系都是Vendor代理;理工科系進產線三寶是大宗
推 abyssa1     : https://fnc.ebc.net.tw/fncnews/business/77855
→ abyssa1     : 這個事件應該會讓後進者門檻又拉高
推 cityhunter04: 別那麼認真回廢文好嘛
推 magamanzero : 認真的話 上次GG有個材料發生問題的事件 可以看看
→ magamanzero : 那會影響良率很嚴重的
→ odahawk     : 主管一句話「換了之後出問題誰負責」就不會有人試了
推 daredwolf   : 推拉
→ faniour     : 開頭的邏輯，跟EUV就是比較短波的光，沒什麼困難的
→ faniour     : 概念有什麼兩樣
→ faniour     : 根本也不用什麼ML, 你要有評估機台的話平常做的DOE
→ faniour     : 就夠了
就有點不一樣的反應機制，做出能反應的應該還行

難的是能做到符合High pitch或是crtical layer的光阻

評估Tool 材料商買不起，小廟供不了大佛

→ faniour     : 原料純是一回事，做成高分子是另一件事。分子量中
→ faniour     : 心值、分子量分布要做到幾個標準差內，能穩定的做
→ faniour     : 到多窄，配方的生產準度有多高，還有無塵室有多潔淨
→ faniour     : 通通影響最後產出。做出來了誰要陪練？有實績線上也
→ faniour     : 不一定敢換，沒實績的那根本是鬧笑話。
對應不同layer有很多配方，大家都是要搶first source啦

推 ISNAKEI     : 概念很簡單 做很難 聚合過程要保持均勻就很難了
→ sc1         : 要做進口替代也是當局出來當召集人再加稅排擠進口
毛利比你想像的高,加稅應該不太行
※ 編輯: tobbaco (101.102.210.72 日本), 12/07/2022 15:02:16
推 wtl         : 其實EDA也一樣 軟體做出來半導體廠不跟你合作認證也
→ wtl         : 沒用 想當半導體供應商也沒那麼簡單
推 victor21835 : 專業
→ faniour     : 不同製程光阻需要的感度跟穿透深度，跟舊世代的光
→ faniour     : 阻差異又不是一點點，不是能反應就還行，深寬比、耐
→ faniour     : 蝕、模數、直線或挖孔的特性也差蠻多的，這樣子能
→ faniour     : 當差不多的話，那5或3奈米製程跟22奈米也是差不多
→ faniour     : 的概念啊，不同的那一點點就是量產跟嘴炮的差別。
推 AxerBlizzard: 光阻的光化學雖然是照光交聯，但其實其背後光化學
→ AxerBlizzard: 很複雜，光一個OXE-01的光反應文獻都尚未有定論，
→ AxerBlizzard: 其材料背後know how不只在有機合成而已。
就像有時候code 可以跑跟飛機會飛一樣

※ 編輯: tobbaco (49.97.29.6 日本), 12/07/2022 19:31:30
→ faniour     : OXE-01都幾年了哪裡還不知道
→ faniour     : 一路出到04、05都有了，原廠還被陸廠巴假的
→ faniour     : 專利沒寫好被找洞就算了，後來還被超越
→ faniour     : oxime ester type後來的專利申請數非常多，變來變去
→ faniour     : 大致上就是調整吸收頻譜，調整側鏈去配合溶解性與遷
→ faniour     : 移問題，改感度，改善厚膜表現，或是強化表面光交聯
→ faniour     : 。但是這是負型光阻的材料，正型用的光酸熱酸還有
→ faniour     : 酸放大劑又是另一個世界
→ neil0611    : 最後一點最重要，GG不幫測就真的沒用了
→ faniour     : 這些特化用品台灣不一定不能做，光引發劑就有本土
→ faniour     : 供應商，但光是靠本土的市場要熬到能開始外銷就很
→ faniour     : 難。台商懂得要拿哪些原料來搭配的公司，多半具有
→ faniour     : 生產或是根本就只是不做而已，你是小供應商會不會
→ faniour     : 怕怕的幹脆不賣或是市場評估完就不玩了。而且越下
→ faniour     : 游水又深又冰，給你做出光阻好了，費了各種人脈各
→ faniour     : 種資源，砸了一堆錢後，終於通過驗證，價格開他一
→ faniour     : 公斤數十萬好了，幾噸幾噸賣淨利能不能賺個幾十億？
→ faniour     : 半導體產線一次MO歸咎到材料的問題，賠償責任是幾十
→ faniour     : 億到百億，新進廠商口袋要有多深，性格要有多扭曲才
→ faniour     : 要玩這種生意？
→ faniour     : 對啊，做出來還沒辦法自己測到底怎麼知道做的好不好
→ faniour     : ？GG肯測也不會無限制的共享測到的結果，很多使用上
→ faniour     : 的問題沒機台根本沒有再現的可能，那要怎麼改？
→ Alone111    : 默克不是也有做光阻？
推 AxerBlizzard: OXE-01雖然出來很多年了，但在照光時的光化學反應
→ AxerBlizzard: 機制一直到去年底都還有新研究論文發表。
→ faniour     : 如果有人發表新模型補充過去不足之處，這樣要算得上
→ faniour     : 沒有定論等等，那irgacure-907這種老掉牙的東西，前
→ faniour     : 幾年有人也發了一些計算的內容，不就也要說過去一
→ faniour     : 樣沒有定論？這些東西如果還雲裡霧裡的，就不會有
→ faniour     : 陸廠整系列的產品一隻一隻出來。甚至有開發商的專利
→ faniour     : 直接講明用什麼計算模型去跑，鍵長應該落在哪個範
→ faniour     : 圍比較適合。除了直接預測QY或自由基壽命這種需求，
→ faniour     : 大部分情況沒那麼多不確定的地方
推 AxerBlizzard: 新的文獻並不是補足不足的部分，而是提出與先前認
→ AxerBlizzard: 為的躍遷機制所預測的路徑有不同的實驗結果，雖然
→ AxerBlizzard: 這些機制對於大多數情況並不會有很大的影響，但一
→ AxerBlizzard: 些文獻有提到這些機制的差異可能會影響到細微結構
→ AxerBlizzard: 的CD跟LER
→ AxerBlizzard: 半導體化學品不光專利佈局的問題而已，沒有在專利
→ AxerBlizzard: 上的know how 也不少，本土廠商即便追上了能不能進
→ AxerBlizzard: 廠驗證還是另一個問題
→ faniour     : 驗證一直以來都是關鍵
→ faniour     : 你講的文獻方便給DOI或關鍵字嗎？沒有也沒關係，就
→ faniour     : 加減看看，現在不搞這個了
→ faniour     : 以光阻類的東西來說，敢寫出來的多半都不怕抄，你
→ faniour     : 覺得他逆向工程超強呢還是沒寫的小東西才是真正重點
→ faniour     : 呢？這種陰人的細節，靠經驗的know how很多吧
→ sc1         : 叫教授去研發替代品 讓學生去上班工作生活平衡啊
→ sc1         : 讓政府撥預算補貼研發光阻劑研磨劑