CMP檢測AFM 雷光干涉 跟？

[mytaiwan (轉角遇到困難)]

如題，這次是製程面試的工程師來了，他問我說CMP後的晶片我們還是要表面觀察，我回
答AFM 、白光干涉，工程師點了頭說 好 力學跟光學 但你漏了一項，我又無言了，版上
有人知道嗎？（不是TEM 、SEM也不是SIMS…)

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※ 編輯: mytaiwan (1.200.147.244 臺灣), 12/21/2022 10:20:55
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※ 編輯: mytaiwan (1.200.147.244 臺灣), 12/21/2022 10:21:37
→ YJM1106     : 肉眼看啊
→ daisukidesu : XPS或OM?
推 soda5677963 : XRD
→ douge       : XPS? https://tinyurl.com/yc3s6n5h
推 soda5677963 : XPS
→ cityhunter04: 自己的功課自己做
推 NCTULaoda   : 這裡不是GG版耶
推 ga023630    : XRF
推 ping870224  : 不是GG版那是什麼版
推 CTTSAI      : 核磁共振？下探針？
推 iambeson    : 最後還是EE plz check，有差嗎？
→ ijk1        : 隨便啦 你inline給我run到target就對了啦
推 masks213    : 誰知道
推 godnnn      : PA OOS, Pls EE chk tool ASAP
噓 outzumin    : Dear sirs, pls check GGWP 3Q3Q thanks you much
→ PTTtsmc     : 樓上笑死
噓 sky2030     : 自己去google
→ shinew13    : 表面觀察甚麼? 沒講清楚是要我們觀落陰喔
噓 abc0922001  : 分類都被你干涉掉了嗎?
推 qwerasdft   : defect scan?
→ douge       : 不管是什麼 都不知道這咖在問什麼的
→ poemsing    : 第一次聽到把AFM稱為力學檢驗的XD
→ poemsing    : 從你的資訊來猜測，對方說 力學光學都有了，那剩下
→ poemsing    : 可能是電學和化學了
→ poemsing    : 如果他是負責中段的CMP那就是EBI scan
→ poemsing    : 化學的話ICP-MS XPS都有聽過
→ poemsing    : 政治學的話，就是前層Loop留下的loading太大，沒辦
→ poemsing    : 法磨平
推 GodOfGods   : 不同段別要看的東西不一樣吧
→ faniour     : 用手摸
推 joshualiu   : OCD
推 hoothoot    : 問這麼多有屁用？不如問 你家多缺錢？ 可以接受狗
→ hoothoot    : 幹的程度如何？
→ pigc        : 看他態度，態度不好也不要去
推 ian41360    : 政治學推
→ nanoy       : 厚度跟uv看layer下有沒有東西?
推 et7878789   : PE/EE check data ok normal release
推 echoo       : 玄學吧 看Wafer Map上的風水
→ Roslin      : dark field和OCD
推 Hsinxyzzyx  : 窩電流
→ Hsinxyzzyx  : 要馬是eddy current 要馬是表面化學性質檢測（XPS之
→ Hsinxyzzyx  : 類的）
推 shots       : wafer map的風水哈哈哈哈
推 yungchan    : 阻抗量測?