[新聞] 中國首台EUV曝光機原型機正式出光 斥資4

[scitamehtam (新竹恐牙狼)]

https://news.cnyes.com/news/id/6532960

中國首台EUV曝光機原型機正式出光 斥資400億美元建構自主半導體鏈路

據《路透》與相關調查指出，位於深圳一座由中央科技委員會管理的保密設施內，首台全國
產化的極紫外光曝光機 (EUV) 原型機已成功啟動，並穩定產生 13.5 奈米波長的極紫外光
。報導稱，此進展意味著中國已在 EUV 技術鏈路上，從光源、光學系統到真空腔體實現初
步貫通。

相較於全球龍頭艾司摩爾 (ASML) 採用的 LPP(雷射激發電漿) 技術——即利用高功率雷射
轟擊錫滴，中國研發團隊選擇了 LDP(雷射誘導放電電漿)10 倍以上，具備系統體積更小、
功耗更低等優勢，有利於未來的規模化部署。

陸媒矽基 LIFE 報導稱，這項被外界稱為「北京曼哈頓計畫」的發展，背後有著龐大的資源
支撐。

投資規模：由國家科技部牽頭，整合華為、哈工大、上海光機所、清華大學及中科院等機構
，總投入金額估算達 370 億歐元 (約 400 億美元)。

專利技術：截至 2026 年 6 月，中國在 EUV 領域的專利申請量已累計超過 1200 件。
生產佈署：華為東莞基地預計於 2026 年第三季啟動 EUV 試驗性生產。

據報導，目前全球 7 奈米以下先進製程晶片均需依賴 EUV 技術，而 ASML 單台 EUV 設備
售價約 1.5 億美元。根據數據顯示，2026 年全球 EUV 相關市場規模約為 259.3 億美元，
目前台積電掌握全球約 56% 的 EUV 裝機量。
儘管中國已跨越光源門檻，但後續仍面臨極其嚴苛的挑戰，包括反射率要求極高的鉬 / 矽
布拉格反射鏡、光阻劑靈敏度，以及光罩檢測等工程瓶頸。

然而，在 EUV 量產前，中國已透過浸潤式深紫外光曝光機 (DUV) 配合自對準四重圖形技術
 (SAQP)5 奈米級晶片的規模化量產，為先進製程提供了備援路徑。

報導稱，若 LDP 技術路徑最終證明能提供更高的功耗效率，將可能對現有以 ASML 為首的
供應鏈範式產生衝擊，並改變先進製程設備的市場稀缺紅利。



心得：

來自路透報導

這算是重大突破嗎？

每年這樣燒錢，也是大手筆

是框錢，還是真的想做大事

其實還沒很定論

兩年後看能不能量產

或許就比較明確了？

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 118.231.169.250 (臺灣)
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噓 Okubo7788: 人謀不臧的極致霸主 能撈救撈
推 mayolane: 且聽龍吟聽幾年了
推 sunnyhung: 醜聞曝光？
推 ariadne: 恭喜恭喜 以後別再喊被卡脖子 超噁心
噓 atlaswhz: cnyes可以當成超譯外媒的中吹仔
推 misson: 大概是修好武漢弘芯那台EUV的光源部分了
噓 Rutschman: 這媒體就是中國傳聲筒
推 Brioni: 這只是光源，要生產又不只是光源
推 Ron51320: 給中國一條路他就能鑿出神奇的發展路線
噓 PoloHuang: 雙贏就是贏兩次
→ douge: J20團隊吹了20年的喇叭結果全員被
→ douge: 習近平抓去關
→ douge: 鴻蒙系統到今天還在打手槍的地位
→ douge: 大概就這樣吧
噓 r40491101: …?
噓 cityhunter04: 搞那麼久才弄出EUV??是拆哪裡偷渡
→ cityhunter04: 來的設備啊…
推 magic543: 剛剛才看到這影片，我猜一定有人不信
推 berton1: 發展EUV會不會是21世紀的美蘇星戰翻版？
→ scitamehtam: 講得好像euv很簡單做出來，某樓要不
→ scitamehtam: 要成立一家公司台版euv? 願意投資是
→ scitamehtam: 好事，國際戰略如此
→ rodion: 很可以啊 恭喜牆國璽營內循環 歡迎自由
→ rodion: 世界更大力度的打壓"倒逼" 這樣我大牆國
→ rodion: 還不飛上天!
推 iop222456: 應該是收購比較舊的各種晶圓生產機台
→ iop222456: 來拼裝吧
噓 quartics: 400億美元好大的餅，大概有一半會被貪
→ quartics: 走
推 stonecold123: SB才相信中國技術
→ Eric0605: 真的做出來 良率就會起來嗎？Intel表示
→ Eric0605: EUV只是其中一個關鍵點 關鍵點還有很多
→ ejru65m4: 國家很有錢 晶片騙完倒9成 換個材料繼續
→ ejru65m4: 拿
推 good5755: 這篇沒提到雷射功率 量產良率 詳細數據
→ good5755: 都沒有要怎麼比較 組裝起來不難 困難點
→ good5755: 在量產
推 ll2233445566: 良率只有30嗎？
推 Aixtron: 先說佔地面積多大！曝光機光源難在小穩又
→ Aixtron: compact，超大一台當無塵室不用花錢？
噓 Westzone: 科科，不騙騙韭菜傻子A股要怎麼割韭菜
推 HAYABUSA1207: 畢竟背後是國家支持 預算無上限
推 c928: 複製完成
推 cltang: 就算光源有了，鏡子造的出嗎？
推 herochang: 還要研發？不都手刻嘛
推 ax113: 又可以騙國家補助了