[問題] 半導體零組件

[zoiptt (DDOO)]

各位前輩好

最近想瞭解半導體相關產業

想請問heater、 valve、 e chuck、 ESC等等的零組件

作用是甚麼呢?

各用在製程甚麼階段呢?

想請前輩們解答

或是哪裡有相關的資料可以查詢?

謝謝

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