[問題] 關於 CMOS 基板參數

[xeaper (xeaper)]

小弟最近再研究電感，用 ADS 跑 EM

在其中 PO ~ M9 的金屬與介電常數在製程說明書上都可以查到

可是唯獨 P-SUB 的 permittivity 跟 Resistivity 跟 P-SUB厚度 查不到

想說是小弟沒有看仔細還是真的 Substrate 的參數需要下 Test key

回來才能知曉，希望有經驗的大大能幫小弟解惑

感激不盡

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※ 編輯: xeaper (140.115.73.211), 01/05/2016 20:53:00
推 ultimachen: Resistivity一般在10 ~ 20 Ohm.cm
→ ultimachen: 厚度設300um(有磨)或700um(沒磨)
→ ultimachen: 就感值來說差別不大,Q值影響一些