Re: [討論] FAB 中曝光機 (scanner) 的市佔率

[kriz (Encoded)]

※ 引述《FTICR (FT-ICR)》之銘言：
: 標題: [討論] FAB 中曝光機 (scanner) 的市佔率
: 時間: Fri Mar 10 22:37:01 2017
:

back to back阿魯再騙一篇P幣。

: 想請問在黃光區的先進問題
: 一說到曝光機台廠商，原本都只想到 ASML
: 尤其是在先進製程上，下一代 EUV 大概也得靠他們
: 不過最近好奇看 NIKON 193i 的機台，才發現性能和 ASML 差不多
:

就是因為差不多，就沒動力去進Nikon的機台啦。
省那一點錢，性能差不多，萬一整合起來有問題或是delay量產，誰要負責？
加上大家還是對Nikon不熟悉，雖然Intel是用Nikon沒錯。
但很明顯長官們沒事不敢拿烏紗帽去賭。

:
: 以下是兩家最新的193i機台比較：
:
:                   ASML NXT:1980Di  NIKON NSR-S631E
:
: 請問在業界這兩台都有人在用嗎
: 還是先進製程主要仍以 ASML 居多? (N家幾乎都日本半導體廠自用?)
:
: ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.112.55.27
: ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1489156625.A.A51.html
: ※ FTICR:轉錄至看板 Electronics                                    03/10 22:38
: 推 kminer: 看規格就曝的出來要一堆工程師幹嘛                        03/10 22:48

這句話經典。

: 確實也很好奇哪些部分是設備商負責哪些是FAB
: 推 treeyoyo: ASML居多吧,NIKON 應該是過去dry時代的產物              03/10 22:54
: 但這規格是先進製程的，也代表他們有能力做?
: https://goo.gl/0nzgfJ 這裡有講一些 Highlights，包含"for 7 nm node"

因為Intel是用Nikon的，不過Fab42重啟計劃公布後，外加目前的i家正宗7 nm的規劃，
應該critical layer還是會優先用EUV。其他的地方為了省錢，就繼續用NSR system.

: 推 fegat: NIKON還可以賺面板的曝光機 超貴的                         03/10 22:58
: 曝面板用的應該超大台XD 但resolution應該不用很高?
: 推 AXby: 有人買Nikon就不會搞到Nikon要裁1000人了                    03/10 23:02

是裁哪個事業群你知道嗎？我從新聞看不出來呢
http://nikonrumors.com/2016/11/07/nikon-to-cut-1000-jobs-in-japan-or-10-of-its-domestic-workforce.aspx/

Nikon plans to eliminate about 1,000 jobs in Japan,
or 10% of its domestic workforce, as the company shifts resources
away from once core businesses to medical devices and other growth areas.

: 好吧QQ
: 推 spadeg25620: twin scan & alignment吧                            03/11 00:35
: 兩家的 Overlay 差不多，確實可能是 dual-stage design 有差
: 推 louis1704: 谷歌新聞a家市占有九成，減一點也有七八成吧            03/11 00:44
: 了解，感謝
: → louis1704: 193還會往下做浸潤式，還有有兩個Chuck,不知道n家的有   03/11 00:46
: → louis1704: 嗎？如果有，品質穩定嗎?                              03/11 00:46
: 這就要問實際在用的工程師了...

坦白說NSR是可以用。但還是回到最高層要不要用。工程問題基本上都是可以解決的。

: ※ 編輯: FTICR (219.70.186.32), 03/11/2017 01:10:25
: 推 ardella: 很多東西是spec沒法告訴你的，現在run45為了cost down是   03/11 02:04
: → ardella: 可以考慮用，但是一般一直做的FAB現在折舊也差不多了，幹  03/11 02:04
: → ardella: 嘛還要買這種來重新折舊，更何況還要做mixmatch,怎麼算    03/11 02:04
: → ardella: 都不划算                                               03/11 02:04
: 推 AXby: 面板的市佔Nikon就真的很高 特別是10代以上的超大面板是獨占  03/11 05:33
: 推 giggs11s: 在日本半導體廠確實N社和C社的曝光機很多，因為便宜...   03/11 08:19
: → giggs11s: .                                                     03/11 08:19
: 推 iFann: A社強的還有軟體阿..GRIDMA/DOMA                           03/11 10:21
: 推 henryrita: 別說啦                                               03/11 10:31
: 推 a1zz3: 天后就一堆Nikon                                          03/11 12:02

請問你說的是Nikon 193i嗎？還是248...

: → zonezone: 在半導體先進製程曝光機方面ASML獨霸，其他都是撿屑屑吃  03/11 13:24
: → coldbeerhere: 天后nikon都低階dry的                              03/11 14:09
: → pig2014: 當你個版？還是當成台積版？                             03/11 17:44
: 推 mingchyi: Nikon immersion 機台便宜但可靠度不佳                  03/11 17:50
: 推 otaru051: 天后宮有n牌泡水機的喔。。。                           03/11 18:20
: 推 mahament: twin chuck WPH就電爆別家                              03/12 14:12

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 24.29.49.92
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1489382877.A.A3C.html
推 balius: https://goo.gl/NfaK9I
→ balius: 赤字が続く半導体製造装置事業を中心に、映像事業や本社部
→ balius: 門でも人員適正化を図り、固定費を大幅に削減する考えだ。
推 giggs11s: 我記得Nikon確實是要裁半導體曝光機的部門, 因為這件事
→ giggs11s: 我們公司還召開會議討論* (日本的公司)
推 centra: 在台積，工程問題就是政治問題。官僚才是最大的敵人
推 balius: 相機部門也虧不少，應該也有份...
推 blueskydgdg: 你真的確定Intel用nikon的機台?那連線系統上看到的
→ blueskydgdg: 那麼多台XT, NXT, NXE是幽靈就對了?
推 LancelotMe: n牌機台擺出來一台  跑跑無用貨還有給ASML vendor參觀
→ LancelotMe: 一下的
推 tipsofwarren: Nikon 年報有説打掉一堆半導體產品庫存
推 Marcus: Intel用Nikon??? 科科 非先進製程有可能